TORAY 东丽工程分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑450

TORAY 东丽工程分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑450 

灵活的布局。氧传感器和低矮调化器分离，大大放宽了设备安装位置的限制。

节省空间。新开发的低矮壁挂转换器消除了对设备深度的担忧。

超高速响应。分离式传感器提供最快的响应速度。

高度耐用的传感器。还会使用特殊涂层以增强耐用性。

适用标准

CE 标记：EN 61010-1，EN 61326-1

RoHS 指令：EN 63000

应用

溅射系统;设备气体纯度管理;工厂管道氩焊（Ar）管理;实验设备;以及测试设备。

传感器兼容真空的NW法兰（16、25、40）和旋入式（3/8R）。选择适合使用状况的类型。

产品具体介绍

LD‑450 为分体插入式氧化锆氧气分析仪，由【壁挂式转换器 LD‑450】+【SD 系列插入式传感器】组成，传感器可以直接安装在真空腔体、炉体壁上，不需要取样泵，真空、常压均可直接测量。

原理：氧化锆浓差电池；传感器与主机之间专用线缆，标配线缆 2m，最长可扩展至 10m，方便主机远离高温腔体安装。

供电：DC24V 直流供电，适合设备机柜集成；整机功耗 60VA，常态 15VA；预热时间≤6 分钟。

输出版本区分

LD‑450‑T：4‑20mA 模拟输出版本

LD‑450‑C：RS‑232C 通讯输出版本

传感器接口可选：NW16/NW25/NW40 真空法兰，或者 R3/8 螺纹；传感器可承受腔体绝对压力 10⁻³Pa～200kPa，真空环境直接测量，无需抽气取样。

使用限制：被测气体禁止含有硅蒸气、油雾、卤素、强腐蚀性气体，会损毁氧化锆传感器；不适合强还原气氛。

实际落地应用案例

半导体真空设备：溅射、沉积真空腔体直接插入测氧，监控真空腔内部氧杂质，半导体设备整机集成配套。

热处理烧结炉：真空烧结炉、气氛炉炉壁直接安装传感器，实时监控炉腔内氧浓度。

锂电、MLCC：真空烘烤、真空烧结工序，腔体内部直接监测残氧。

高端手套箱：箱壁直接插入传感器，无需抽取样气，实时监测箱内氧含量。

科研真空实验设备：各类真空腔体、惰性气氛腔体原位氧监测。