TORAY 东丽工程 EtherCAT 分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑600

TORAY 东丽工程 EtherCAT 分体式氧化锆氧气分析仪 LD‑600

EtherCAT通信是可能的。

它非常适合集成到使用EtherCAT通信的设备和应用中。

节省空间的安装是可能的。

氧传感器与薄型传感器的分离显著减少了安装位置的限制。

适用于真空环境

这种直接插入传感器无需采样，即使在真空环境中也能进行测量。

超快响应

我们通过独立传感器实现最短响应时间。

高耐久性传感器

该传感器经过特殊涂层处理以实现高耐用性。

适用标准

产品具体详细介绍

LD‑600 为分体插入式氧化锆氧分析仪，整套由【LD‑600 转换器】+【SD 系列插入传感器】组成，本机无面板显示屏，全部依靠 EtherCAT 总线输出数据，专为自动化设备、半导体整机集成开发。

测量原理：氧化锆浓差电池；传感器直接插入腔体，无需取样泵，真空（10⁻³Pa）～常压均可直接原位测量，区别于 LC‑450A 抽吸取样机型。

硬件配置

供电：DC24V，3A 供电；整机功耗 80VA，稳态 30VA；预热时间≤6min。

通讯：仅 EtherCAT 工业实时总线，适配倍福等主流 PLC，高速实时数据交互；无模拟量、无 RS232 串口。

线缆：转换器与 SD 传感器专用屏蔽线缆，标配 2m，最长可扩展至 10m，主机远离高温炉体安装。

传感器接口可选：NW16 / NW25 / NW40 ISO 真空法兰，R3/8 螺纹接口。

产品特点

① 薄型小型转换器，支持控制柜壁挂安装，节省机柜空间；

② 传感器特殊涂层处理，抗劣化，响应速度快；

③ 自动量程切换，覆盖 ppb 微量氧到 100% VOL 高浓度；

使用限制

禁止强还原气氛；高浓度氦气工况测量会受影响；

样气严禁含有硅蒸气、卤素、油雾、腐蚀性气体，会直接损坏氧化锆传感器

实际落地应用案例

半导体行业：溅射、沉积真空腔体原位氧监测；扩散炉、退火炉腔体内部残氧检测；半导体设备整机 OEM 配套，EtherCAT 总线对接设备主控系统。

锂电、MLCC 电子陶瓷：真空烧结炉、真空烘烤炉，直接插入炉壁监测炉内氧含量。

热处理真空炉：真空钎焊、真空烧结，炉腔内部直接测氧，不需要抽取样气。

科研真空设备：各类真空腔体、高端手套箱原位氧浓度监测。