TORAY 东丽工程多点式氧化锆氧气分析仪 MS‑500

TORAY 东丽工程多点式氧化锆氧气分析仪 MS‑500 

能够同时测量最多8个点

显示浓度范围广泛，从ppm水平到100%

最适合安装在半导体制造设备、真空设备等。

直插式传感器（真空用NW 16/25/40法兰）

高耐久性传感器采用特殊涂层以增强耐用性

适用标准

产品具体详细介绍

MS‑500 是东丽工程多通道分体插入式氧化锆氧分析仪，专为半导体多腔体集群设备开发，一台控制器最多接 8 套 MS‑510+SD 传感器，实现多个腔体同时测氧，不需要取样泵，真空 10⁻³Pa～常压 200kPa 绝压均可直接原位测量。

测量原理：氧化锆浓差电池，SD 真空法兰传感器直接安装炉体 / 真空腔壁，扩散式测量，响应速度快。

硬件配置

供电：DC24V 直流供电，适合整机设备集成；整机预热≤6 分钟。

显示：4 位数码管，通道切换显示各个点位氧浓度。

传感器线缆：标配2m，最长可扩展 10m，控制器远离高温腔体摆放。

法兰可选：NW16 / NW25 / NW40 ISO 真空法兰。

输出：标配 RS‑232C，可选 LAN、EtherCAT 工业总线；本机无 4‑20mA 模拟输出，无硬件报警继电器接点。

产品核心特点

① 多点同步检测，一台主机管理最多 8 个腔体，节约设备集成成本、机柜空间；

② 直插式真空传感器，不用抽取样气，避免管路吸附带来微量氧测量误差；

③ 传感器特殊抗劣化涂层，适合半导体长时间连续运行；

④ 薄型小体积控制器，支持面板 M3 螺钉安装，设备 OEM 集成友好。

样气限制：被测气体严禁含有硅蒸气、油雾、卤素、强腐蚀性气体，会损坏氧化锆传感器；不适合强还原气氛。