搜索
TORAY 东丽工程通道转换器 MS‑510
品牌：东丽/TORAY
产地：日本
型号：MS‑510
400-616-7676转3323
仪器介绍
TORAY 东丽工程通道转换器 MS‑510 
能够同时测量最多8个点
显示浓度范围广泛，从ppm水平到100%
最适合安装在半导体制造设备、真空设备等。
直插式传感器（真空用NW 16/25/40法兰）
高耐久性传感器采用特殊涂层以增强耐用性
适用标准
核心参数：
| 参数项 | 参数内容 |
|---|---|
| 型号 | MS‑510 通道转换器 |
| 测量原理 | 氧化锆浓差电池（和 LD‑450/LD‑600 共用 SD 传感器） |
| 测量范围 | 0.001ppm～100% vol O₂，自动量程切换，0‑1ppm 不作精度保证 |
| 分辨度 | 0.001ppm（微量程）；0.01% vol（高浓度量程） |
| 重复性 | ≥1% FS：±0.5% FS；＜1% FS：±1% FS 或 ±0.1ppm 取较差值 |
| 稳定性 | ±1%FS/24h |
| 供电 | DC24V，单通道单元功耗约 15VA |
| 通讯 | MS‑510 本身无对外通讯；信号上传 MS‑500 主机；主机 RS232，可选 LAN/EtherCAT |
| 外形尺寸 | 100 (W)×40 (H)×88 (D) mm；重量约 0.5kg |
| 使用环境 | 转换器：0‑40℃；SD 传感器：0‑100℃；湿度 35‑80% RH 无凝露；非防爆场合 |
| 配套线缆 | 标配 2m 专用屏蔽线缆，最长可延长至 10m，连接 SD 传感器与 MS‑510 |
产品详细介绍
MS‑510 是东丽工程 MS‑500 多点氧分析系统的单通道信号转换单元，负责驱动 SD 直插氧化锆真空传感器，把传感器微弱信号处理后上传给 MS‑500 主控控制器。
系统架构
SD 真空传感器（直接插入真空腔体）→专用屏蔽线缆 →MS‑510 通道转换器 →MS‑500 主控。
每一路腔体，必须独立配置 1 台 MS‑510，不可以一个 MS‑510 带多路传感器。
SD 传感器与 LD‑450、LD‑600 机型传感器硬件通用，可互换使用。
硬件特点
① 小型金属壳体，适合控制柜内部螺钉安装，OEM 设备集成；
② 内置传感器加热驱动、信号调理、故障自诊断；可识别传感器断线、加热异常故障；
③ 扩散式直插测量，不需要取样泵，真空 10⁻³Pa～常压都可以直接测量，避免取样管路带来微量氧测量误差；
④ MS‑510没有显示屏、没有对外输出接口，全部数据、报警、量程切换全部由 MS‑500 主机统一处理输出。
工况限制
样气严禁含有硅蒸气、油雾、卤素、腐蚀性气体，会不可逆损伤氧化锆传感器；不适合强还原性气氛。
MS‑500 / MS‑510 / LD‑450 / LD‑600 对比
| 型号 | 单元角色 | 通道 | 对外输出 |
|---|---|---|---|
| MS‑500 | 系统主控控制器 | 最多 8 通道（外接 MS‑510） | RS232；可选 LAN/EtherCAT |
| MS‑510 | 单通道转换单元 | 1 通道 | 无对外输出，仅对接 MS‑500 |
| LD‑450 | 单通道整机 | 1 通道 | 4‑20mA / RS232 |
| LD‑600 | 单通道整机 | 1 通道 | 仅 EtherCAT 总线 |
实际落地应用案例
半导体行业：多腔体 PVD、溅射、扩散炉集群设备；一台 MS‑500 搭配多台 MS‑510，同时监控多个工艺腔体内部残氧，设备 OEM 整机配套。
MLCC、锂电陶瓷电子：多工位真空烧结炉集群，多点同步监控炉内保护气氛氧浓度。
科研真空设备：多腔体实验装置、多工位手套箱原位氧监测。
实施要点
点位规划：几个测量腔体，就需要几套 MS‑510+SD 传感器；确认 SD 法兰规格 NW16/NW25/NW40。
安装：MS‑510 安装在控制柜内，DC24V 供电；专用屏蔽线缆连接 SD‑MS510‑MS500；线缆长度确认 2m / 加长定制。
调试：整机预热 6 分钟，传感器加热完成后读取氧浓度；定期零点、量程标气校准。
维护：SD 氧化锆传感器属于消耗件，根据工况定期更换。
拨打电话
留言咨询
