OTSUKA 大塚电子显微光谱薄膜厚度计OPTM 系列

OTSUKA 大塚电子显微光谱薄膜厚度计OPTM 系列 

特色

胶片厚度测量所需的功能整合到头部

利用显微光谱进行高精度绝对反射率测量（多层薄膜厚度，光学常数）

高速测量速度在每秒1点以内

在显微镜下实现宽波长范围的光学系统（紫外~近红外）

使用区域传感器的安全机制

简易分析向导支持光学常数分析，即使是初学者也适用

配备可定制的宏观测量序列功能

能够分析复杂的光学常数（多点分析方法）

兼容300毫米级

支持多种自定义

一、子型号区分

设备形态：

台式自动 XY 平台型：实验室研发、晶圆 mapping 面分布扫描；

嵌入头 Inline 型：可集成产线，在线自动化检测，只输出测量头，无整机台体

二、核心技术参数

三、产品详细介绍

OPTM 系列是大塚电子旗舰级显微分光膜厚仪，也叫显微光谱薄膜厚度计；对标椭偏仪，兼顾微小光斑微区测量，解决透明基板背面反射干扰难题，适合半导体、显示、光学镀膜的研发与品质管控。

光源经过显微物镜聚焦到样品微小区域，采集样品绝对反射光谱，软件光谱拟合算法解析多层薄膜膜厚与光学常数 n/k；无需探针接触样品，完全无损。

两种形态可选：台式带自动 XY 位移平台，完成多点扫描、膜厚 Mapping；独立测量头版本，可嵌入客户产线设备，做在线制程监控。

四、实际落地应用案例

案例 1：半导体晶圆工艺检测

测试对象：Si/SiC/GaAs 晶圆、光刻胶、氧化层、介质多层膜

测试内容：微区图案位置膜厚，晶圆整片膜厚分布 Mapping

场景：半导体实验室、工艺研发，CMP、刻蚀、成膜工序离线抽检，替代部分椭偏仪测试。

案例 2：显示与光学器件

测试对象：ITO 导电膜、光学滤光片、AR 增透膜、LCD/OLED 功能膜

测试内容：纳米‑微米级多层光学涂层膜厚、折射率 n/k 评价；微小像素区域微区测量。

案例 3：功能薄膜与新材料研发

测试对象：PET 基材镀膜、光伏薄膜、硬质涂层、各类涂布薄膜

测试内容：透明基板上涂层膜厚，解决普通光谱膜厚仪受基板背面反射干扰的误差问题。

案例 4：产线 Inline 在线检测

配置：OPTM 嵌入测量头，集成进涂布 / 镀膜产线

用途：流水线非接触实时监控膜厚，超差报警输出，用于制程闭环控制。