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品牌:小坂研究所
产地:日本
型号:SE800 系列
400-616-7676转3323
仪器介绍
KOSAKA 小坂研究所高精度台式表面粗糙度・轮廓测量机SE800 系列 
测量可符合国际标准,如ISO、JIS、DIN、ASME和BS,以及各国的新旧标准。 为此,有多种滤波器、截止值、测量长度和计算方法可供选择。
符合各国标准。
数据图表可以自由排列。
各种测量自动化元素可以自由组合,执行一系列测量操作。
更高级的分析和过滤也成为可能。

核心参数:
| 项目 | SE800 系列(基础机型) |
|---|---|
| Z 轴测量范围 | 800 μm |
| Z 分辨率 | 0.04 nm |
| X 轴扫描行程 | 最大 120 mm |
| X 直线度精度 | 0.3 μm /120 mm |
| 标准金刚石触针 | R5μm 90°;可选 R2μm、R1μm 细触针 |
| 扫描速度 | 0.05‑2 mm/s 可调 |
| 载台配置 | 手动 XY 载台;可选电动 XY 自动载台,实现多点 Mapping 面扫描 |
| 执行标准 | ISO、JIS、DIN、ASME 国际粗糙度标准 |
| 可输出参数 | Ra、Rq、Rz、Rt、Rk 系列、波纹度、轮廓、台阶段差,合计 70 + 评价参数;波形曲线、支承率曲线,CSV 报表导出 |
| 驱动方式 | 台式主机,USB 连接电脑软件控制,非无线便携 |
| 适用样品 | 小型元器件到大尺寸板材;可测平面、曲面、台阶、沟槽 |
产品详细介绍
SE800 系列是小坂台式高端触针粗糙度轮廓仪,为实验室品质实验室、研发部门设计,不属于便携机。
机械底座刚性高,X 轴行程 120mm,直线度优于便携系列,测量重复性更好。
支持选配电动 XY 载台,对样品做多点 Mapping 扫描,输出整个样品表面粗糙度 / 段差分布云图,评价面内均匀性。
丰富触针可选:R5μm 通用;R2μm/R1μm 用于微小沟槽、微细图案半导体样品。
软件完整:滤波器切换、取样长度自定义;OK/NG 判定,报告输出,满足 IQC、研发检测追溯。
适合不能用便携机的高精度要求场景;机器体积大,固定放置实验室,不能拿到产线现场手持测量。
实际落地案例用途
案例 1:精密机械零部件实验室检测
对象:轴承、精密齿轮、密封件、模具;用途:实验室入库 / 出货检验,高精度评价粗糙度、轮廓波纹度。
案例 2:半导体、FPD 显示行业
对象:玻璃基板、光刻后台阶、镀膜晶圆;用途:测量镀膜段差、沟槽轮廓,评价刻蚀、镀膜工艺,Mapping 扫描面内均匀性。
案例 3:光学元件
对象:光学镜片、模压光学模具;用途:检测表面粗糙度、波纹度,评估抛光品质。
案例 4:汽车零部件研发实验室
对象:发动机零件、燃油喷嘴;用途:研发阶段高精度轮廓、粗糙度分析。
可选配件
R2μm / R1μm 超细金刚石触针
电动 XY 自动载台(Mapping 扫描)
V 型块、各类样品夹具
粗糙度标准校准块
高、低角度测头组件
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