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KOSAKA 小坂研究所非接触式轮廓形状测定机EF550A 系列

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KOSAKA 小坂研究所非接触式轮廓形状测定机EF550A 系列

品牌:小坂研究所

产地:日本

型号:EF550A 系列

400-616-7676转3323

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仪器介绍

KOSAKA 小坂研究所非接触式轮廓形状测定机EF550A 系列 
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配备分析宏,支持复杂分析任务中的省力。


该测量机具备高度便携性和安装灵活性。

通过实时输出功能,你可以获得放大后的测量形状数据。

通过连接轮廓形状分析系统,可以进行更高级的分析。

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核心参数:

项目EF550A 系列

测量方式激光非接触式(光学位移传感器)

Z 轴测量行程M5B:5 mm;M50:50 mm;M58:58 mm

Z 测量精度±(2.5+0.5×H) μm(H = 位移 mm)
X 轴扫描行程最大 300 mm

X 直线度2 μm /300 mm

扫描速度0.1‑10 mm/s 可调

可测内容轮廓曲线、台阶段差、翘曲、波纹度、表面形状,不能测粗糙度 Ra

输出实时形状数据输出;可对接轮廓分析软件;CSV 数据导出

样品特点适合软膜、薄膜、易划伤、高精密表面,不能用触针的样品

本体形态台式可搬运型,设置自由度高,无需复杂地基

产品详细介绍

EF550A 是小坂非接触激光轮廓仪,和 SE300pro/SE500pro/SE800 触针式系列形成互补。

非接触测量,探头不接触工件,不会划伤薄膜、软质材料、抛光脆弱表面;

设备轻量化可搬运,不强制固定地基,实验室、产线旁都可以布置;

实时输出轮廓波形数据,连接专用分析软件,做段差、翘曲、弯曲、轮廓评价;

注意:该设备只测轮廓 / 段差 / 翘曲,不输出 Ra 粗糙度参数;如果需要粗糙度,要搭配 SE 触针系列。

对比触针 SE 系列

SE 系列:触针接触式,可以测粗糙度 Ra + 轮廓段差;会划伤软样品。

EF550A 系列:激光非接触;只测轮廓、台阶、翘曲;无法测 Ra 粗糙度。

实际落地案例用途

案例 1:FPD 显示行业

对象:光学薄膜、偏光片、玻璃基板;用途:薄膜翘曲、基板段差、保护膜轮廓测量,避免触针划伤膜面。

案例 2:半导体行业

对象:晶圆、光刻胶薄膜、镀膜器件;用途:测量镀膜台阶、基板翘曲度,软胶样品不能用触针。

案例 3:光学零部件

对象:光学膜片、透镜、模压光学件;用途:评价成型轮廓、翘曲变形。

案例 4:锂电 / 新能源薄膜

对象:极片、隔膜;用途:薄膜表面轮廓、起伏翘曲检测,非接触保护薄膜。

可选配件

各类样品夹具、真空吸附载台

轮廓分析软件包

标准校准样板

电动 XY 载台(扩展多点扫描)


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