USHIO（牛尾）薄型紫外照度计UIT- 365

USHIO（牛尾）薄型紫外照度计UIT- 365

世界上最薄的4.9毫米厚度，非常适合光学薄膜的紫外线涂层

以及镜头紫外键合时的照度管理。高效捕捉

斜向入射光。 此外，即使在漫射连续光下，也能实现高精度的测量值。

系数校正函数使数据兼容性更容易。 设备差异校正也可行。电池

使用副电池。 充电后，可以反复使用。

采样频率可选择，最高可达512Hz。 即使在高速线路上也能获得详细数据。

无线消除了布

线、后方布线等复杂性。可以测量多个LED波长范围。兼容

Windows 10（自2019年12月起）。

一、产品详细介绍

UIT‑θ365 是日本牛尾（USHIO）一体式超薄无线 365nm 紫外照度计，整机厚度仅 4.9mm，传感器与主机一体化设计，无需外接探头，专门用于狭小空间内 i-line（365nm）紫外照度、累计光量检测ウシオ电机...。

传感器类型：硅光电池（你后台参数选择项）

核心特点

1. 超薄 4.9mm 机身，可直接放置在曝光台面、辊缝、样品与光源之间狭窄间隙，普通分体照度计放不进去的位置它可以测量；

2. 无线内置电池，蓝牙连接，搭配 BladeNav 软件，实时采集、记录照度曲线、峰值照度、积分光量，支持长时间连续数据记录；

3. 高速采样最高 512Hz，可捕捉脉冲 UV 光源、UV-LED 瞬时峰值，适合瞬态曝光工艺评估；

4. 光学适配斜入射紫外光，不局限垂直照射，卷对卷薄膜产线非常友好；

5. 测量波长：310～390nm，中心波长 365nm（i 线），匹配光刻、彩色光阻曝光常用 i-line 紫外光源。

可测项目

• 实时紫外照度（mW/cm²）

• 峰值照度

• 积分累计光量（mJ/cm²）

• 长时间连续日志记录，导出测试数据用于工艺追溯

和 UIT-250 区别：UIT-250 是主机 + 可更换探头分体式；UIT‑θ365 为一体式超薄无线机型，优势是狭小空间测量。

二、实际用途案例（可直接放到仪器信息网详情）

案例 1：光刻胶实验室曝光工艺验证（配套 MS-B100 旋涂机）

场景：彩膜 / 光刻胶研发实验室，MIKASA MS-B100 旋涂制备玻璃基板样品，进入 UV 曝光机进行 i-line 曝光。目的：确认曝光台面不同位置紫外照度均匀性，验证实际到达光刻胶表面的光能量；

• 把 UIT‑θ365 薄型仪器直接放在基板位置，测量曝光区域照度分布；

• 如果照度偏低 / 不均匀，会造成光刻胶感光不足、图案边缘锯齿、对比度不稳定，影响后续 CT-1 对比度测试结果；价值：管控曝光能量，保证同批次样品曝光一致性，让 CT-1 对比度测试数据稳定、可对比。

案例 2：光学薄膜卷对卷 UV 固化产线（柔性膜、光学硬涂膜）

场景：卷式光学薄膜 UV 固化，光源与薄膜辊间隙很小，常规照度计无法伸入辊缝。测试目的：监控辊面位置 UV 照度，确认固化能量稳定；

• 把超薄 UIT‑θ365 放置在薄膜表面随卷料移动，采集整条幅面照度分布；

• 照度衰减会导致薄膜固化不完全、硬度不足、附着力不良，用于定期点检 UV 灯老化。

案例 3：MEMS、PCB、微流控器件接触式曝光设备点检

场景：实验室小型接触式曝光机、MEMS 微结构光刻工艺。测试目的：定期校验曝光台面光强均匀性，判断 UV 光源衰减，设定曝光时间。

因为曝光机样品台与掩膜间隙很小，4.9mm 超薄机身是最大优势。

案例 4：精密光学元件 UV 粘接

镜头、光学零件 UV 胶固化工艺，狭小工装内部紫外能量检测，监控固化能量，防止粘接不牢。