USHIO 牛尾分体式紫外受光器（探头） UVD-365PD

USHIO 牛尾分体式紫外受光器（探头） UVD-365PD

官方名称：受光器 Detector Unit，为 UIT-201 主机专属选配探头，不可单独使用；校准中心波长 365nm（i-line），适配高压汞灯与 365nm UVLED，φ1mm 微小受光口径，小光斑单点高精度测光。

一、产品详细介绍

基础概述

UVD-365PD 是日本牛尾 USHIO UNIMETER 系列分体式 365nm 紫外受光探头，专为 UIT-201 便携式照度计主机配套开发，标配 2 米信号线，可延长线缆，探头伸入曝光腔体、固化箱内部，主机放置外部操作。内置窄带干涉滤光片，有效滤除可见光杂散光，原厂溯源绝对值校准，是 i-line 光刻工艺经典测光传感器。

核心规格

• 感度波长：330~390nm，校准中心波长 365nm

• 受光口径：φ1mm，高空间分辨率，适合小光斑单点测量

• 量程（搭配 UIT-201）：L 档 0~19.99；M 档 0~199.9；H 档 0~500 mW/cm²

• 校准精度：±5%；非线性≤±1%

• 温度特性：-0.2%/℃，使用环境 0~50℃，无凝露

• 传感器：硅光电池（后台参数直接选用）

• 接口：专用连接器，接入 UIT-201 主机自动识别 CAL 校准系数

核心特点

1. φ1mm 微小受光面，单点局部精准测光，适合 i-line 点光源、小区域曝光光斑，扫描台面局部照度均匀性；

2. 分体长线结构，探头体积小巧，可放置在密闭曝光腔、UV 固化设备内部，主机留在设备外侧，避免高温损坏主机；

3. 内置窄带滤光片，有效抑制可见光杂散光，高压汞灯、365nm UVLED 均可稳定测量；

4. 支持 CAL 灵敏度修正，探头老化后，可在 UIT-201 主机修改校准系数，延长探头使用寿命，方便实验室数据对标；

5. 配合 UIT-201 主机，可检测实时照度、峰值照度、积分光量，主机自带 0~1.999V 模拟输出，外接记录仪长时间连续采集数据。

型号区分 UVD-365PD：UIT-201 专用 365nm 探头； UVD-S365：UIT-250 专用 365nm 探头； 波段一致，但校准参数、适配主机不同，二者不能互换。

二、详细实际用途案例（仪器信息网详情直接复制）

案例 1：彩色光刻胶 i-line 曝光 DOE 配方实验（整套：MS-B100 旋涂 + UVD-365PD 测光）

场景：彩膜、黑色矩阵、负性光刻胶材料研发实验室 工艺流程：米卡萨 MS-B100 旋涂，将彩色光刻胶涂布在玻璃基板→烘烤→i-line 汞灯曝光。测试目的： UVD-365PD 小口径探头扫描曝光台面多个点位，采集 365nm 紫外照度，计算积分曝光能量，评估台面照度均匀性；监测高压汞灯老化衰减，锁定稳定曝光能量窗口，保证每一块基板接收曝光能量一致，保障后续壶坂 CT-1 对比度测试数据稳定可对比。

φ1mm 小孔径优势，专门测量基板上局部曝光区域，规避边缘杂散光干扰。

案例 2：PCB 干膜、阻焊油墨 i-line 接触式曝光机点检

场景：PCB 工厂接触式 i-line 汞灯曝光产线。用途：每周 / 每日点检曝光台面照度均匀度；扫描台面不同单点能量，监测汞灯使用周期内衰减；设定曝光时间，避免曝光不足造成线路图形残缺、显影不良、线宽波动；新产品开发做曝光 DOE 实验，确定工艺能量窗口。

案例 3：365nm UVLED 点光源固化工艺验证

场景：光学元器件、摄像头组件 UV 胶点胶固化。用途：检测 UVLED 点光源光斑中心、边缘照度分布，评估光斑均匀性；定期点检灯珠衰减，防止固化能量不足，造成粘接脱胶、气泡；调整照射距离、功率，确定固化工艺参数。

案例 4：MEMS、微流控芯片、小型接触式 i-line 光刻

场景：实验室小型接触式 i-line 曝光设备，掩膜紧贴基板。用途：探头伸入掩膜与样品狭小间隙，测量光刻胶表面真实紫外照度；标定曝光台面能量均匀性，优化曝光时间，保障微结构图形成型质量。

案例 5：UV 光源厂商光源验收、仪器比对标定

场景：i-line 汞灯、365nm UVLED 光源制造实验室。用途：单点标定小光斑光源输出照度，出具测试报告；新光源、曝光设备进厂验收，仪器之间做数据比对。