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USHIO 牛尾分体式 UV 受光探头 UVD-S313
品牌：牛尾/USHIO
产地：日本
型号：UVD-S313
400-616-7676转3323
核心参数
仪器介绍
USHIO 牛尾分体式 UV 受光探头 UVD-S313 
一、产品概述
UVD-S313 是UVB 波段单点分体式紫外传感器，专门针对313nm紫外光源绝对值测量。分体式带引出线缆，探头体积小巧，可伸入狭小空间；φ1mm 微小受光孔径，适合聚焦光斑、点状光源的局部定点测量，用来检测局部照度、光斑能量分布、累积曝光剂量。 整套测量系统：UIT-250 主机 + UVD-S313 探头，主机可记录照度随时间变化曲线，支持电脑通讯导出数据。
二、详细规格参数
| 项目 | 详细参数 |
|---|---|
| 型号 | UVD-S313 |
| 类型 | Separate 分体分离型 |
| 校准基准波长 | 313 nm（UVB） |
| 感光波长区间 | 280 ~ 360 nm |
| 受光孔径 | φ1 mm（微小光点，单点测量） |
| 照度测量上限 | 150 mW/cm² |
| 绝对值校准精度 | ±5%（原厂出厂校准） |
| 线性误差 | ±1% 以内 |
| 工作温度范围 | 0 ~ 50℃ |
| 温度特性 | 典型值 -0.1%/℃ |
| 标配线缆长度 | 2m；可选 5m/10m 延长线缆 |
| 测量项目（主机 UIT-250 实现） | 辐照度 (mW/cm²)、峰值照度、累积光量 (mJ/cm²)，最长 4 分钟照度时序记录 |
| 产地 | 日本原装进口 |
三、产品核心特点
微小 φ1mm 受光面适合小光斑、聚焦光学系统、光纤输出 UV 光源，扫描光斑内部能量分布，评估光源均匀性；一体式 C 型探头没有 313nm 版本，313nm 只有 S 分体款。
分体式结构探头和主机分离，线缆连接，可伸入设备腔体、靠近 UV 灯源，避开主机高温；可选加长线缆适配产线安装。
绝对值校准原厂出具校准数据，可直接用于工艺管控、品质检验，满足半导体 / PCB 光刻工艺计量需求。
模块化设计UIT-250 一台主机可更换多款探头（UVD-S254/S313/S365/S405），覆盖不同紫外波段，降低设备采购成本。
四、实际应用案例
PCB 干膜光刻工艺传统汞灯 313nm 曝光光源，检测曝光能量、监控光源衰减，保证线路成像良率。
液晶光取向工艺液晶面板光取向 UVB 光源点检，测量局部曝光剂量。
材料老化、光化学反应试验UVB 紫外老化、光敏材料、高分子光改性实验，定量控制曝光能量。
MEMS、微纳加工光刻313nm 紫外曝光系统单点能量检测，评估镜头聚焦光斑均匀性。
实验室科研生物光化学、光催化实验，定量监测 UVB 辐照强度。
五、选型区分（重点）
UVD-S313：313nm UVB，分体 φ1mm，单点小光斑（无一体式 C 型号）
UVD-S365：365nm UVA，分体 φ1mm
UVD-C365：365nm UVA，一体 φ10mm 大面积平均照度
UVD-S405：405nm，分体 φ1mm
UVD-C405：405nm，一体 φ10mm
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