TOFCO 东富科差压式液体流量计DPF

TOFCO 东富科差压式液体流量计DPF

TOFCO东富科DPF是日本TOFLO CORPORATION专为洁净液体中到大流量工况设计的一体式差压式流量计，依托成熟的差压测量原理实现高精度液体流量监测，是半导体、化工等高端工业场景的主流配套机型。

产品核心详细介绍

1. 基础工作原理

它完全区别于传统浮子式面积流量计，通过检测流体流经内置节流件时产生的压力差，精准换算出对应体积流量，技术成熟可靠，长期运行稳定性极强，完全适配对连续监测要求极高的工业场景 。

2. 核心产品特性

• ‌大尺寸易读表盘‌：集成大直径现场流量显示器，无需外接数显设备，现场巡检人员可直接远距离清晰读数，大幅降低现场运维难度。

• ‌安装灵活性极强‌：采用全隔膜式密封结构，完全支持纵向、横向等任意流向自由安装，无需严格限定安装姿态，极大提升现场管路设计的自由度。

• ‌全系列口径覆盖‌：提供15A到100A全系列口径选择，可覆盖从中等流量到大流量的几乎所有常规工业液体测量工况，适配性极强。

• ‌高可靠性设计‌：继承TOFCO东富科50年流体测控技术积累，无易损活动部件，抗污染能力远高于叶轮式等传统流量计，长期免维护运行寿命可达8年以上。

3. 标准技术参数

| 参数项 | 规格说明 |

| --- | --- |

| 测量介质 | 洁净液体（超纯水、化学药液、循环冷却液等） |

| 口径范围 | 15A~100A |

| 测量精度 | ±3%FS |

| 工作压力 | 最高0.75MPa |

| 介质温度 | 0~80℃ |

| 输出形式 | 现场指针显示+可选流量开关报警输出 |

| 接液材质 | 本体PPS树脂、密封圈FKM氟橡胶、节流件316L不锈钢 |

4. 典型适用场景

• 半导体厂务系统：超纯水（UPW）输送管路、设备冷却循环水、高纯化学药液输送管路的流量实时监控。

• 化工与冶金行业：工艺液体输送、大型设备循环冷却液、工业废水处理等中大流量液体的计量与控制。

• 高端设备配套：大型半导体清洗设备、生物医药反应釜、工业热交换器等核心设备的液体流量指示。

• 环保水处理：污水处理、中水回用系统中的大流量液体流量在线监测。

5. 安装与使用注意事项

• 上游必须预留10倍管径长度的直管段，下游预留5倍管径长度的直管段，紧邻弯头、阀门安装会显著增大测量误差。

• 管路必须全程满液运行，禁止气液两相共存，初次投运前必须彻底排出管路内积存的空气。

• 出厂默认以20℃纯水标定，当被测介质密度与水差异较大时，需要对读数进行密度修正。

• 内置孔板节流件存在固定压损，不适合含有大量固体颗粒的介质，否则极易造成孔板堵塞。

• 标准机型无4-20mA模拟变送输出，如需远传信号，需额外外接独立差压变送器模块。

典型行业应用案例分析

案例1：12英寸晶圆厂超纯水主管路流量监测

国内某头部12英寸晶圆制造工厂，在超纯水（UPW）输送主管道上批量选用TOFCO DPF-50A差压式流量计，替代原有的传统电磁流量计。

• 项目痛点：原电磁流量计长期运行后电极易被超纯水腐蚀，维护周期短，且现场读数不直观，巡检效率极低。

• 应用效果：DPF无电极无活动部件，完全适配超纯水洁净工况，连续运行3年无任何故障，现场大表盘读数清晰直观，运维工作量降低70%，完全满足半导体厂务系统24小时不间断运行的严苛要求。

案例2：光伏电池片清洗线大流量冷却系统监测

国内某TOPCon光伏电池头部企业，在数百台大型清洗设备的冷却循环水主管路上批量配套DPF-40A流量计。

• 项目痛点：原叶轮式流量计长期运行后叶轮磨损严重，测量偏差逐年增大，且无法支持任意姿态安装，现场管路改造难度极大。

• 应用效果：DPF无叶轮磨损问题，测量精度长期稳定在±3%FS以内，支持任意流向安装，完美适配清洗设备内部紧凑的管路布局，设备冷却流量异常报警响应速度提升60%，有效避免了因冷却不足导致的产品良率损失。

案例3：生物医药园区中水回用系统流量计量

华东某大型生物医药产业园，在中水回用处理系统的大流量出水管路上选用DPF-80A流量计。

• 项目痛点：原涡街流量计对中水的杂质适应性差，长期运行后测量管结垢严重，测量误差超标。

• 应用效果：DPF节流件抗轻微结垢能力远高于涡街结构，连续运行2年测量精度无明显衰减，现场指针显示无需供电，即使系统断电也能直接读取实时流量，大幅提升了水处理系统运行稳定性。