TOFCO 东富科超声波液体流量计USF500S

USF500S 是一款基于超声波传播时间差方式的高精度流量计，专为纯水、浆料及腐蚀性药液的流量监测设计。仪器内置DSP 功能，显著提升了测量的稳定性、响应速度及耐气泡干扰能力。

USF500S 支持极端高温环境下的连续作业，标准型最高流体温度为 90℃，高温仕様（HK）最高可耐受200℃（部分型号 180℃）。接液部采用NEW PFA 材质，能够耐受 IPA、H₂O₂、H₂SO₄、H₃PO₄、HF、HCl、O₃、NH₃等多种化学药液的腐蚀。

USF500S 具备灵活的信号输出与通信能力，提供 4-20mA 模拟输出、频率脉冲输出及比较输出等功能。仪器标配RS-485 (Modbus-RTU)通信接口，最多可串联连接31 台变换器，通信速率支持 9600 至 57600bps。可拆卸式电缆设计（标准 3m，可选 ETFE 被覆）大幅简化了现场配线与维护工作。

适用场景

• 半导体湿法工艺药液输送系统

• 高纯度超纯水循环监测实验室

• 化工行业高温腐蚀性流体计量

• 核心规格

• 测量介质：DI 超纯水、各类强酸强碱半导体药液

• 流量量程：0.05～80L/min（按 G08/G10/G15/G20/G25HK 多型号选型）

• 接液材质：PFA（全氟树脂，无金属接触介质）

• 最大耐压：0.6MPa (G)

• 介质温度：标准 5~80℃；高温款最高可达 200℃

• 精度：±1% RD（读数精度）

• 响应速度：10ms

• 输出信号：4-20mA 模拟量，RS485 Modbus 通讯，脉冲输出，报警接点

• 安装：管路直接串接，几乎无压力损失；传感器与转换器分体，电缆可拆卸

• 核心特点

• PFA 全氟接液，无金属、无油脂析出，适配半导体高纯度药液、超纯水；

• DSP 数字信号处理，抗气泡能力强，湿法清洗机含微量气泡药液也可稳定测量；

• 管路直通式无活动部件，不会卡堵，压损极小，适合低压循环回路；

• 分体式结构，传感器小巧，电缆可拆卸，布线维护方便；

• 通讯支持 RS485 Modbus，最多 31 台组网，同时提供 4-20mA 模拟量输出；

• 分辨率高达 0.001L/min，微小流量测量稳定。

  二、实际落地应用案例

• 半导体湿法清洗设备：晶圆清洗槽超纯水、酸 / 碱药液流量在线监测；

• PCB/FPC 蚀刻、显影设备：腐蚀性药液管路流量采集；

• 药液供给系统：化学输送支路流量实时监控，联动报警；

• 精密纯水输送回路：超纯水流量连续计量；

• 化学稀释配比装置：多路药液流量采集。