TOFCO 东富科超声波液体流量计 SSF 系列

卡尔曼涡式流量计（SSF 系列）是一种基于超声波检测卡尔曼涡流原理的流量测量仪器，其核心优势在于接液部无驱动部件，且主体采用 PFA 材质，专为超纯水、纯水及各类药液的高纯度流体计量设计。

该仪器具备多种信号输出功能以满足不同控制需求。设备支持 NPN 开路集电极脉冲输出（10mL/P 或 100mL/P）、与流量成正比的 4-20mA 模拟量输出（响应时间约 2s），以及上下限设定比较输出，方便集成至自动化监控系统。

产品提供四种规格型号以适应不同管径和流量需求。SSF10 至 SSF25 型号的测量流量范围分别为 0.5~3.5L/min、1~16L/min、2~40L/min 及 5~130L/min，测量精度根据型号不同在±1.5% F.S. 至 ±5% F.S.之间，最高使用压力为 0.45~0.8MPa(G)。

适用场景包括：

• 半导体制造超纯水输送系统

• 制药行业高纯度药液配比实验室

• 化学分析试剂精密添加装置

  核心特点

• 一体化集成设计，流量检测探头 + 信号转换器合为一体，相比 USF500S 分体款安装更简单，节省设备内部空间；

• PFA 全氟接液，无金属接触药液，耐强酸强碱，无析出污染，适配半导体高洁净制程；

• 时差式超声波测量，管路无活动部件，不易卡堵，压力损失很小；

• 具备气泡抑制算法，湿法清洗含微量气泡的药液依然可以稳定测量；

• 支持 4-20mA、脉冲输出，可接入 PLC 实时采集瞬时流量、累积流量，超限报警；

• 适合小流量支路，设备机台内部紧凑管路安装。

  实际落地应用案例

• 半导体湿法清洗设备：晶圆清洗工位微小流量药液、超纯水在线监测；

• PCB/FPC 设备：蚀刻、显影、清洗工位腐蚀性药液流量采集；

• 化学药液供给、稀释配比系统：小流量化学药剂流量实时监控；

• 实验室精密供液装置：高纯液体流量连续计量。