TOFCO 东富科面板式面积浮子流量计 FM-PX25

GG 面積式流量計 FM-PX25 是一款面板安裝型的吹掃計，基於可變面積測量原理（Variable area flow meter），專門用於微小氣體流量的精確測量與監控。

該儀器具備靈活的報警開關配置，可選配リードスイッチ（簧片開關）、磁氣スイッチ（磁開關）、近接傳感器或光電傳感器，實現流量上限或下限的自動信號輸出。核心測量部件採用耐熱玻璃錐管與多種材質浮子（玻璃、紅寶石、POM、SUS316、鈦），確保在不同腐蝕性氣體環境下的穩定性。

GG 面積式流量計 FM-PX25 的最高使用壓力為 0.8MPa(G)，流量精度為±5% of F.S.，使用流體溫度最高可達 80℃（FKM 墊圈可達 100℃）。產品提供多種流量範圍選擇，從 10 NmL/min 至 100 NL/min，並支持 AIR、N2、O2、CO2、Ar 等多種氣體介質的換算校正。

適用場景

• 半導體製程氣體吹掃實驗室

• 精密化學分析儀器載氣控制

• 生物醫藥發酵罐氣體流量監測

• 一、产品简介

• FM-PX25 是 TOFCO 面积式浮子流量计，专门为设备面板嵌入安装设计。依靠浮子升降直观读取流量，不需要供电就可以现场观测；可选择上部集成精密针阀手动调节流量，也可加装磁性流量开关实现高低流量报警输出。气体、液体两用，半导体设备氮气吹扫、纯水小流量监测非常常用。

• 二、核心规格参数

• 项目	参数
  型号	FM-PX25（后缀含义：V = 带上部针阀；B = 带磁性报警开关；W = 液体专用；G = 气体专用）
  测量介质	空气、氮气等气体；纯水、弱腐蚀性药液液体
  流量量程	液体：1mL/min～5L/min；气体：10NmL/min～100NL/min（多量程规格可选）
  精度	±5% FS（满量程）
  接口	Rc1/4″内螺纹
  最高使用压力	0.8MPa(G)
  流体温度	标准最高 80℃；FKM 氟橡胶密封最高可达 100℃
  环境温度	0～50℃，无结露
  本体材质	阀体 SUS316（可选 SCS14 铸造不锈钢）；锥管硼硅玻璃；浮子 SUS / 玻璃
  密封件	标准 NBR，可选 FKM 氟橡胶
  安装方式	面板嵌入式安装
  可选配件	上部内置针阀、磁性流量报警开关（NPN/PNP 数字触点输出，断流报警）

• 三、产品特点

• 加长可视窗口：对比 FM-PX20，FM-PX25 观察段更长，微小流量读数更容易看清。

• 面板嵌入式安装，设备集成简洁，半导体设备、自动化设备柜体面板直接开孔安装。

• 可选上部一体式精密针阀，直接手动调节流量，无需额外外接调节阀。

• SUS316 阀体，耐一般腐蚀，支持气体吹扫回路、纯水、弱酸碱药液。

• 无源可视读数，断电也能读取流量，可加装磁性开关输出报警信号给到 PLC。

• 结构简单、可靠性高，几乎无易损件，维护成本低。

• 四、实际应用案例

• 半导体设备氮气吹扫、惰性气体保护回路流量监测与调节

• 清洗设备纯水小流量就地观测调节

• PCB、FPD 设备辅助水路、气路流量监测

• 实验室小型管路气体、液体流量监测

• 各类自动化设备冷却水路、保护气回路