MIKASA 米卡萨台式旋涂机MS-B100

MIKASA 米卡萨台式旋涂机MS-B100

一、产品简介

MS-B100 是日本 MIKASA 经典台式精密旋涂机，专为最大 4 英寸硅晶圆 /75×75mm 方形基板设计。采用无刷 AC 伺服电机，无碳粉污染，适合洁净实验室；支持分段编程旋涂工艺，可精准控制转速、升降速、保压时间，实现光刻胶、PI 聚酰亚胺、溶胶凝胶等材料均匀成膜。

注意：MS-B100 不能加装自动滴胶装置（和 MS-B150 核心区别，B150 可加装滴胶单元）

二、核心规格参数

三、产品特点

1. 无刷 AC 伺服电机，无碳粉尘，适配洁净室；连续运行温升低，保障膜厚重复性，光刻胶成膜均匀性可达 ±0.8%。

2. 多段可编程工艺：100 步程序，10 套配方存储，升降速斜率、转速、保压时间自由设定；方形基板支持停机定位。

3. 透明亚克力盖子，可直观观察旋涂全过程；标配真空监测，可自定义真空吸附压力，防止薄晶圆破片。

4. 体积小巧，重量轻，台式摆放，实验室台面直接放置，无需复杂安装。

5. 长期量产验证，日本累计出货 7500 台以上，科研领域普及率高。

四、实际应用案例

1. 高校、科研实验室光刻工艺，硅片光刻胶旋涂制备

2. 材料研发：溶胶凝胶、聚酰亚胺 PI、有机薄膜、功能涂层旋转涂膜

3. MEMS、微纳加工、PCB 小型基板涂层研发

4. 光学基板、玻璃薄片薄膜制备

五、型号区分（MS-B100 vs MS-B150）

• MS-B100：最大 4 英寸基板，不可加装滴胶装置，体积更小

• MS-B150：最大 6 英寸基板，支持选配自动滴胶单元