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MIKASA（米卡萨）台式旋涂机 MS-B150 / MS-B200
品牌：米卡萨/MIKASA
产地：日本
型号：台式MS-B150/MS-B200
400-616-7676转3323
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核心参数
用途
实验室涂布机
涂布方式
其它
涂布厚度
几十 nm~ 数 μm（随转速、胶液调整）
涂布精度
膜厚均匀性 ±3% 以内（视浆料与基板）
外形尺寸
352W×303H×432D mm
涂布速度
20～7000rpm（旋转转速）
仪器介绍
MIKASA（米卡萨）台式旋涂机 MS-B150 / MS-B200
核心参数：
| 项目 | MS-B150 | MS-B200 |
|---|---|---|
| 最大基板 | 6 英寸晶圆 / 100×100mm 方片 | 8 英寸晶圆 /150×150mm 方片 |
| 转速范围 | 20～7000 rpm | 50～5000 rpm |
| 转速精度 | ±1 rpm（带载） | ±1 rpm（带载） |
| 腔体直径 | φ290 mm | 更大密闭腔体 |
| 程序能力 | 100 步 ×36 组工艺曲线，时间最高 999.9s | 100 步多段可编程工艺 |
| 驱动 | 无刷 AC 伺服电机，低粉尘，适合洁净室 | 无刷 AC 伺服电机 |
| 真空吸附 | -0.08~-0.1MPa，标配真空联锁保护 | -0.08~-0.1MPa |
| 选配 | 自动滴胶装置、亚克力防护盖 | 自动滴胶装置、密闭防护盖 |
| 电源 | AC100~240V，5A | AC100~240V，5A |
| 外形尺寸 | 352W×303H×432D mm，约 16kg | 503W×350H×580D mm，重量更大 |
产品特点
桌面台式小型旋涂机，无需大型安装空间，可放置在洁净工作台内。
伺服电机，转速稳定，膜厚均匀性好，光刻胶、聚酰亚胺、光学薄膜制备。
多段编程：可设置多段加速、保持、减速，复现整套旋涂工艺。
真空吸附固定晶圆，真空联锁保护，真空不足禁止旋转，安全可靠。
可加装自动滴液单元，实现自动滴胶旋涂，减少人工操作。
实际用途案例
高校实验室、研究所微纳加工、光刻工艺研发
半导体、MEMS、微流控、光学元件基板光刻胶涂布
滤光片、传感器基片、玻璃基板薄膜制备
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