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品牌:SAN-EITECH 三英
产地:日本
型号:AXP250
400-616-7676转3323
核心参数
仪器介绍
日本 SAN-EI TECH 三英桌面点胶机器人AXP250
高精度定位和简单直观的编程
AXELIA AXP/AXPP 系列
高精度视觉分配系统AXP/AXPP系列分为两种类型:皮带驱动AXP和滚珠螺杆驱动AXPP。 配备摄像头、激光高度检测和用户友好的编程功能,适合需要精密液体应用的制造工艺。
顶级重复性(AXPP +/- 0.004 mm;AXP +/- 0.005 mm)
缩短周期和批次时间
可以集成到现有的生产线中
降低材料成本、人工成本和拥有成本
适用于多种制造工艺
规格:

品牌:SAN-EI TECH(株式会社サンエイテック,简称 SET,行业俗称三英)型号:AXELIA AXP250类目:半导体行业专用仪器设备 > 光刻及涂胶显影设备 > 涂胶显影设备(仪器信息网)设备类型:笛卡尔直角坐标桌面式流体点胶 / 涂布机器人
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 有效行程 | X:250mm × Y:250mm × Z:80mm |
| 驱动结构 | 笛卡尔直角坐标机器人 |
| 重复定位精度 | ±0.002 mm(±2μm) |
| Y 轴最大移动速度 | 800 mm/s |
| Z 轴最大移动速度 | 320 mm/s |
| Y 轴允许负载 | 5kg |
| 控制系统 | 专用 AXELIA 运动控制器,图形化示教编程 |
| 选配功能 | 视觉对位校正、高度激光测高、多种点胶阀(eco-PEN、NOVADOT 喷射阀、SV 针头阀) |
| 适用胶水 | UV 胶、环氧树脂、导电胶、密封胶、润滑油脂、光刻胶、银浆、保护胶等各类流体 |
超高定位精度,±2μm 重复定位,适合微米级微量点胶、轮廓涂布,兼顾直线、圆弧、不规则路径涂胶。
桌面独立机型,体积小巧,无需嵌入流水线,放置在洁净台即可使用,适合实验室、小批量试产、样品打样。
图形化示教软件,上手简单,可存储多套产品程序,换型方便;选配视觉相机,自动补偿工件摆放偏移。
阀型兼容丰富:可搭载针头阀、喷射阀,实现接触式点胶 / 非接触喷射点胶两种工艺。
低抖动、高稳定性,可在洁净车间使用,适配光学、半导体对洁净度的要求。
工艺:镜头底座 UV 胶点胶、镜筒密封涂布、滤光片固定点胶
需求:胶线均匀,不能溢胶污染镜片;点胶位置一致性高
方案:AXP250+eco-PEN 微量点胶阀,搭配视觉定位,多工位治具小批量镜头组装。
工艺:芯片底部填充、芯片边缘密封、光刻胶定量涂布、保护胶点涂
需求:微量出胶,胶量稳定,避免胶体污染芯片有效区域
方案:AXP250 搭载 NOVADOT 喷射阀,非接触喷射,不触碰芯片,适合薄脆芯片。
工艺:FPC 补强胶、镜头支架密封点胶、IR 圈固定点胶
需求:小区域微量点胶,节拍适中,样品打样 + 小批量量产。
工艺:元器件固定点胶、元器件防潮密封、油脂微量涂布
用途:实验室工艺开发、新产品打样验证。
工艺:边框密封胶涂布、局部光刻胶 / 保护胶定点涂覆
注意:它不是旋涂匀胶机,是定点 / 轮廓式涂布,适合局部涂胶,不是整片晶圆旋涂。
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