KURABO 仓纺高性能旗舰在线药液浓度计Ace-3

KURABO 仓纺高性能旗舰在线药液浓度计Ace-3

一、产品概述

Ace-3（KIS-A 系列）是 KURABO 仓纺旗舰高性能多通道近红外在线药液浓度分析仪，为 AceⅡ 升级后继机型，原厂完整型号格式KIS-2XX-A，是整个 ChemicAlyzer 产品线最高端机型，面向 12 寸先进半导体晶圆制程、高端面板产线复杂混合药液监测。

定位：旗舰多组分机型，高于 Pro-2、Pro-2+；单机支持最多 4 种组分同步检测，最多可接入 8 种不同药液通道，一台设备管控多条药槽，减少产线设备数量，优化机柜布局。

二、测量原理

近红外透射分光法。特定波长近红外光穿透循环药液，依靠不同化学组分的特征红外吸收光谱，结合原厂专属校准曲线，实时解析混合药液内多组分浓度；光学非接触检测，无电极消耗件，不污染高纯洁净药液。

三、核心参数

四、产品核心优势

1. 超强多组分检测能力单机最多同时监测 4 种成分，适配极复杂混合药液（MEA 有机剥离液、多组分蚀刻液）；最多支持 8 路药液通道切换检测，多条清洗槽共用一台设备，大幅节省洁净车间机柜空间与采购成本。

2. 超高测量精度光学检测器与算法全面升级，微小浓度漂移捕捉能力更强，适合先进制程对药液管控极严苛的场景，稳定良率。

3. 丰富数字通讯，MES 系统深度对接RS485/RS422 通讯接口，完整上传浓度、设备状态、历史记录、报警信息，满足半导体工厂全流程数据追溯要求。

4. 耐强腐蚀接液材质，适配全品类半导体湿法药液PFA/PTFE + 石英 / 蓝宝石接液组件，无金属析出，适配高等级洁净晶圆制程。

5. 内置自动校准、故障自诊断支持自动零点校正，设备异常、超量程报警输出，方便设备日常点检维护；光学非接触测量，无电极耗材，长期维护量低。

局限：仅支持透明 / 半透明药液；浑浊、高固含浆料无法测量。

五、行业用途（先进制程主力）

1、半导体晶圆制造（核心场景）

适用药液：SC1、SC2、SPM、BHF、TMAH、MEA 光刻胶剥离液、H₃PO₄、回收再生药液工艺用法12 寸先进制程晶圆湿法清洗、蚀刻、显影、光刻胶剥离工序，可同时监控 4 种组分；也可对多条药槽循环切换监测，替代多台单机浓度计；数据接入 MES，实现药液自动闭环补液，稳定晶圆颗粒去除与蚀刻线宽，降低批次不良。

特别适合：有机剥离液（MEA+BDG + 水 + 光刻胶）这类 4 组分复杂药液，Pro-2/Pro-2 + 无法做到 4 组分同步检测。

2、LCD/OLED 显示面板

面板 CELL、ARRAY 段蚀刻、显影、清洗工序，管控多组分磷酸混合蚀刻液、碱液。

3、光伏、晶体谐振器、光学元件

硅片制绒清洗液、晶体蚀刻液、光学镜片研磨清洗液浓度管控。

4、精细化工、医药

高纯试剂、反应釜多组分溶液在线监测。