KURABO 仓纺小型一体化在线药液浓度计RD-10

KURABO 仓纺小型一体化在线药液浓度计RD-10

一、产品概述

RD-20 + 系列（RD-10/20/30）是仓纺紧凑型、设备嵌入型近红外在线浓度计，定位为 KIS 系列（Pro-2 / Pro-2+）的小型精简版，保留同等核心测量精度，大幅缩小体积、降低功耗，专门面向设备厂商 OEM 集成、小型湿法清洗设备、紧凑型机柜。

型号区分：

• RD-10：基础款，单组分检测

• RD-20：主流款，最多双组分同步检测（市场最常用）

• RD-30：高配款，双组分，拓展报警与通讯功能 完整型号格式：RD-2□-P，方框字符代表适配药液种类

定位排序（仓纺全线）：Ace-3（旗舰）＞Pro-2+＞Pro-2＞RD-20+（紧凑型 OEM 款）

二、测量原理

近红外透射分光法，和 Pro、Ace 系列原理完全一致。特定波长近红外光穿透药液，根据组分特征吸收光谱，实时计算药液浓度；光学非接触式检测，无电极耗材，不污染洁净药液。

三、核心参数

四、产品核心优势

1. 超紧凑体积，OEM 设备集成专用整机仅 6kg，尺寸小巧，可以直接嵌入小型清洗机、湿法处理设备机柜内部，不像 Pro/Ace 需要独立壁挂空间，非常适合设备整机配套。

2. 无风扇密闭结构，环境耐受性强Fanless 无风扇设计，无尘、无气流扰动，不会吸入洁净车间粉尘，适合半导体小型清洗设备、密闭工艺腔体内部安装，故障率更低。

3. 精度不缩水，成本更优核心光学检测单元和 Pro 系列同源，精度保持不变；简化外壳与人机操作面板，价格比 Pro-2 + 低，适合设备厂商批量配套。

4. 低功耗 DC24V 供电工业设备通用 DC24V，方便直接接入设备 PLC 供电回路，不用单独接 AC220 电源。

5. 耐强腐蚀接液材质PFA/PTFE + 石英 / 蓝宝石，适配半导体各类湿法强酸强碱药液，满足高洁净制程。

局限：只支持透明 / 半透明药液；不支持 4 组分检测，无法像 Ace-3 做多通道切换，单台只能一路药液监测。

五、行业用途

1、半导体小型湿法设备（核心场景）

适用药液：SC1/SC2、SPM、TMAH、BHF、磷酸蚀刻液、IPA 工艺场景：小型晶圆清洗机、单片式清洗设备、封装清洗、载台清洗、小型蚀刻设备；设备整机厂（OEM）直接嵌入设备内部，随整机出货。

像兢地智能这类设备集成商，做小型清洗 / 湿法设备时，RD 系列是优选。

2、面板、光学元件小型清洗设备

玻璃、光学镜片、薄膜的小型清洗、显影设备内嵌在线浓度监测。

3、晶体、功率器件、MEMS 制造

小型湿法蚀刻、清洗工序，紧凑型产线机柜。