授权代理KURABO 仓纺小型一体化在线药液浓度计RD-20

授权代理KURABO 仓纺小型一体化在线药液浓度计RD-20

一、产品概述

RD-20 属于 RD-20 + 系列的主力双组分机型，是仓纺专为设备 OEM 集成开发的紧凑型在线近红外浓度计，单台最多同时检测 2 种药液组分，主打嵌入小型湿法清洗 / 蚀刻设备机柜内部，随整机配套出货，无需独立壁挂安装空间。

完整型号格式：RD-2□-P，□代表适配药液代码；RD-10 为单组分，RD-20 双组分，RD-30 是 RD-20 的通讯增强版。

二、测量原理

近红外透射分光法，和 Pro、Ace 系列光学原理完全一致。特定波长近红外光穿透循环药液，依靠化学组分特征红外吸收光谱实时计算浓度；光学非接触检测，无电极耗材，不会污染高纯洁净药液。

三、核心参数

四、产品核心优势

1. 小巧紧凑，设备内嵌整机体积小、重量轻，可直接装进单片清洗机、小型湿法设备机柜，不用单独预留壁挂空间，是设备整机厂商配套选型主力。

2. 无风扇密闭结构Fanless 无风机设计，不会吸入粉尘，不会扰乱洁净室层流，故障率更低，适合高等级洁净腔体内部安装。

3. DC24V 低压供电直接对接设备 PLC 供电回路，无需单独 AC220 供电，设备集成布线简单。

4. 双组分检测，性价比优于 Pro-2+同样支持双组分监测，简化人机面板，成本更低，适合批量设备配套；可外接选配显示单元。

5. 耐强腐蚀接液材质PFA/PTFE + 石英 / 蓝宝石材质，适配半导体各类强酸强碱清洗、蚀刻药液。

局限：仅支持透明 / 半透明药液；单台只能接入 1 路药液管路，不支持 Ace-3 那种多路药液切换。

五、行业用途

1、半导体（核心场景）

适用药液：SC1、SC2、SPM、TMAH、BHF、磷酸蚀刻液、IPA 工艺场景：单片式小型晶圆清洗机、半导体封装清洗、载台清洗、小型蚀刻设备；设备厂商 OEM 内置，随整机出货，实现药液浓度闭环自动补液。

像兢地智能这类设备集成商做小型湿法设备，RD-20 是热门选型。

2、面板、光学元件制造

玻璃、光学镜片、光学薄膜小型清洗、显影设备内嵌浓度监测。

3、功率器件、MEMS、晶体谐振器

小型湿法蚀刻、清洗工序紧凑型机柜配套。