YAMADA 山田光学高亮度卤素冷镜光源装置 YP-150I

YAMADA 山田光学高亮度卤素冷镜光源装置 YP-150I

高亮度卤素光源器件和高亮度LED光源器件在半导体晶圆和液晶基板的加工中最为广泛使用。 比如最终表面上有异物需要人工操作、划痕、抛光不均匀、雾气、滑动等问题 这是一种用于检测各种缺陷的微观观测照明装置。 它的亮度是阳光的四倍以上，通常你会忽略， 它能够检测细微缺陷。

一、产品概述

YP-150I 是日本山田光学工業株式会社（YAMADA KOGAKU）开发的冷镜式高照度卤素强光检查光源，专门用于半导体、显示行业基板表面宏观目视缺陷检查，行业俗称晶圆强光检查灯。 整套设备由光源主机 + 独立电源 HPS-150 + 升降支架三部分组成；核心采用冷反射镜（冷镜）光学技术，反射可见光、把红外热辐射透射分离出去，相比普通卤素灯，样品受热大幅降低，不会损伤热敏基板、光刻胶与光学膜材。 在标准照射距离 140mm、照射光斑 φ30mm 条件下，照度可达400000lux 以上，依靠极强定向照明，把基板表面微米级微小划痕、雾点、异物、抛光不均等缺陷显现出来，是晶圆、玻璃基板人工外观复检的经典日系光源。

同系列对比：YP-150I 小光斑版本；YP-250I 为大光斑版本，光斑 φ60mm，照射距离更远，功率更高。

二、核心技术参数

三、产品核心特点

1. 超高照度，检出微小缺陷40 万 lux 以上强光输出，普通照明看不见的细微划痕、雾状缺陷、CMP 抛光残留、微小颗粒异物，在定向强光下会清晰显现，适合晶圆、光学基板人工目视质检。

2. 冷镜光学技术，低热辐射二向色冷反射镜，反射可见光、滤除红外热量；样品接收热量仅为传统铝反射镜卤素灯的 1/3，长时间照射不会使硅片、光刻胶、光学薄膜受热变形、老化。

3. 双档照度一键切换高照度模式用于缺陷观察；低照度模式用于大面积预检查，防止强光刺眼，方便操作人员分段观察样品。

4. 光线均匀稳定，色差小卤素连续白光，色温稳定 3400K，照度分布均匀，减少不同检测人员视觉判断差异，保证质检标准统一。

5. 模块化支架设计，高度可调配套升降支架，可自由调节光源头高度与照射角度，适配不同尺寸晶圆、玻璃基板样品；也可拆除支架，直接嵌入产线设备内部集成。

6. 强制风冷，长时间连续运行内置风机排风散热，适合车间产线长时间连续目视检测。

局限：卤素灯泡有使用寿命（约 50 小时），属于消耗件，需要定期更换；仅用于目视宏观外观检查，不是自动相机成像检测光源。

四、详细行业用途

1、半导体行业（核心应用）

• 硅晶圆（Si Wafer）CMP 抛光后、切割前后、清洗工序后的表面目视检查；

• 检测晶圆表面微小划痕、雾状缺陷、滑移线、颗粒异物、抛光不均、脏点；

• 陶瓷载具、掩膜板、碳化硅 SiC 基板外观复检；

半导体工厂质检工位、洁净室实验室人工目视复检标配光源。

2、LCD/OLED/ 显示面板行业

液晶玻璃基板、盖板玻璃、偏光片、光学薄膜外观检查；检出表面划痕、污点、雾度、压伤、膜层瑕疵。

3、光学行业

光学镜片、石英基板、光学镀膜件、荧光片抛光缺陷检测；检查镀膜针孔、划痕、表面脏污。

4、精密材料与抛光加工行业

蓝宝石、陶瓷、金属抛光件、精密研磨工件表面宏观缺陷目视检验。

5、科研高校实验室

微纳加工、MEMS、光学试样表面外观观察、抛光工艺评估。