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品牌:Lambda Vision
产地:日本
型号:MicroRAM-300
400-616-7676转3323
核心参数
仪器介绍
日本 Lambda Vision 拉姆达显微拉曼光谱单元MicroRAM-300
这是一台显微拉曼光谱仪。
这是一种低成本的高性能显微拉曼光谱单元。 通过使用市售显微镜,你可以获得与传统显微镜相当的高观察性能,并在样品阶段实现便利。 标配USB-CCD摄像头用于观测,光谱仪部分的波长可自动驱动,实现自动光谱连接测量。 可选选项包括XY级级映射和Z对焦深度方向映射。 CCD探测器还采用Andor的高灵敏度CCD探测器。 此外,薄膜样品的弱信号可用可选的斜光单元测量,且不受薄膜下方基板噪声信号干扰。
规格
光谱学部分
| 类型 | MicroRAM-300 | MicroRAM-500M |
|---|---|---|
| 焦距 | 300毫米 | 500毫米 |
| 亮度 | F/ 4.2 | |
| 衍射光栅 | 最多允许3张牌 | |
| CCD探测器从右侧选择 | 滨松光子冷却CCD Andor OE型冷却CCD | |
| 界面 | USB2.0 | |
光学管段
| 物镜 | Revolva 作为选装 |
|---|---|
| 激光:从右选择 ,最多可容纳 2束激光 | 473纳米 532纳米 632纳米 785纳米 |
| 观景相机 | USB 2.0 300,000 像素 |
| 观景照明 | 白色LED(可选卤素灯) |
| XYZ样本表 | 可选XYZ阶段自动化 |
详情
(1)薄膜样品用斜射激光照射单元(可选)

(2)拉曼滤波器两波长切换
MicroRAM-300 是日本 Lambda Vision(ラムダビジョン,拉姆达)推出的高性能模块化显微拉曼分光装置,主打兼顾高性能与性价比,定位高于 Mobile-RAM100/200,是该系列旗舰显微拉曼型号。 300mm 焦距 F/4.2 分光系统,最多可搭载 3 块光栅,采用冷却型 CCD 探测器(滨松或 Andor 可选),支持最多两路激光选配。既可搭配显微镜做微米级微区拉曼分析,也可外接光纤探头做宏观原位检测;支持 OEM 集成,广泛用于半导体、第三代半导体、显示面板、新材料科研与 DAC 高压实验场景。
300mm 焦距、F/4.2 分光光学系统分光仓最大支持 3 片光栅自由切换(1800/1200/830/600gr/mm 等),可按需切换高分辨率窄波段或者宽光谱扫描模式,兼顾低波数采集与精细拉曼峰解析,适合晶体应力、碳材料缺陷分析。
冷却 CCD 探测器制冷 CCD 降低暗电流噪声,长时间采集弱信号样品稳定性强,针对荧光干扰较强的有机薄膜、光刻胶、高分子材料,检出能力显著优于非冷却 CCD 机型。
多激光源选配可选 473nm / 532nm / 632nm /785nm,最多可搭载两路激光;内置 ND 衰减片,激光功率连续可调,避免激光灼伤光敏样品。 标配 USB 观察相机 + 白色 LED 同轴照明,电脑端实时预览样品表面,精准定位微米级测试点位;选配电动 XY/Z 载台,可实现Mapping 面扫描、Z 轴深度逐层扫描、图像拼接,获取样品二维成分分布。
模块化集成友好标准 C 接口光路,可直接对接金相显微镜;外接光纤探头,能够伸入真空腔体、狭小设备内部做原位无损检测;USB2.0 通讯,适合嵌入自动化检测平台、DAC 金刚石对顶砧高压实验装置。
无损检测,样品无需复杂前处理固体、薄膜、粉末、晶体、凝胶均可直接测试;原厂 RamanSpec 分析软件,内置标准谱库,自动谱图比对、物质定性、应力计算、基线校正,可直接导出检测报告。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 光学焦距 | 300mm,F/4.2 |
| 光栅 | 最多可搭载 3 片,按需选配 |
| 可选激光 | 473nm / 532nm / 632nm /785nm,最多搭载 2 路激光 |
| 探测器 | 滨松 / Andor 冷却 CCD |
| 拉曼位移范围 | 532nm:100~4000 cm⁻¹785nm:100~3200 cm⁻¹ |
| 光谱分辨率 | ≤3 cm⁻¹ |
| 信噪比 | ≥600:1 |
| 动态范围 | 16bit |
| 杂散光 | <0.08% |
| 观察单元 | USB 相机 + 白色 LED 照明(卤素照明可选) |
| 软件 | RamanSpec 拉曼分析软件,支持 Mapping、谱库匹配、报告输出 |
Si、SiC、GaN 晶圆晶体质量、晶格应力定量检测,区分单晶硅 / 多晶硅,评估外延层品质;
晶圆表面微米级黑点、颗粒、碳污染物、有机残留异物成分定性,解析良率不良根因;
光刻胶、钝化膜、塑封环氧料、封装粘接树脂材质鉴别;
DAC 金刚石对顶砧高压实验,红宝石荧光压力标定,原位监测高压下晶体物相与相变;
真空腔体内部原位拉曼测试,无需破真空取样。
OLED 有机发光层、ITO 导电膜、彩膜、偏光片、光学胶、密封胶、油墨微区材质识别;
面板微小缺陷(析出物、烧蚀点、微小颗粒、气泡内含物)成分溯源,定位制程污染来源;
光照老化实验,监测薄膜材料光照前后分子结构变化。
碳材料:石墨烯、碳纳米管、碳膜的层数判定、D/G 缺陷峰分析;
二维材料、无机晶体、陶瓷、矿物粉体物相鉴定、晶体相变、应力分析;
高分子、橡胶、复合薄膜、光催化材料、药物晶体无损定性;
搭配变温样品台,观测温度变化下材料分子结构动态演变。
原材料入库筛查,鉴别高分子、无机粉体牌号真伪;精密零部件表面微小涂层、污染物定性;可集成自动化产线定点在线检测。
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