YAMADA山田光学高辉度卤素光源装置YP‑250I

YAMADA山田光学高辉度卤素光源装置YP‑250I

高亮度卤素光源器件和高亮度LED光源器件在半导体晶圆和液晶基板的加工中最为广泛使用。 比如最终表面上有异物需要人工操作、划痕、抛光不均匀、雾气、滑动等问题 这是一种用于检测各种缺陷的微观观测照明装置。 它的亮度是阳光的四倍以上，通常你会忽略， 它能够检测细微缺陷。

高亮度卤素光源设备规格

✅产品概述

YP-250I 是日本 YAMADA 山田光学半导体晶圆表面目视检查专用卤素强光灯，用于 8 英寸晶圆、玻璃基板、碳化硅、液晶基板的外观缺陷检测，检出划痕、雾状、抛光不均、微小异物、滑移线等微观瑕疵。 整套分为光源头 + 专用电源 HPS-250两部分。

✅核心参数

• 光源：ELC 24V 250W 卤素灯泡

• 色温：3400K

• 照射距离：220mm

• 光斑：φ60 mm

• 照度：≥400,000 Lux（220mm 距离，φ60 光斑内）

• 亮度档位：高 / 低两档切换

• 光学结构：冷反射镜（冷镜），红外热量大幅削减，工件发热仅传统铝镜 1/3，保护光刻胶、硅片等热敏样品

• 冷却方式：强制风冷，两种风扇可选1）螺旋桨风扇型（普通车间） 2）管道排风型（洁净室，热风直接排出车间，避免气流扰动）

• 配套电源：HPS-250

• 输入：AC100～240V，50/60Hz

• 整机功耗：约 350W

• 点灯方式：直流点灯，照度稳定，波动≤1%

• 工作环境：0～40℃

• 电源尺寸：134 (W)×78 (H)×253 (D) mm，重量约 2.2kg

✅产品特点

1. 超高照度，光线锐利均匀，适合目视宏观外观检查；

2. 冷镜光学，抑制红外热辐射，样品温升低；

3. 高低照度一键切换，适配不同深浅缺陷观察；

4. 直流点灯，照度漂移小，长时间观测稳定；

5. 分体式设计，光源头可搭配支架，安装灵活。

✅典型应用

• 8 寸 Si、SiC 半导体晶圆外观检查

• 光学玻璃基板、液晶面板、抛光零件表面缺陷检测

• 精密抛光件划痕、雾斑、异物目视抽检，洁净车间使用