Shibuya 涉谷光学连续变倍单筒视频显微镜 SZ7

Shibuya 涉谷光学连续变倍单筒视频显微镜 SZ7 

SZ7 是电动 / 手动连续变倍单筒显微镜头主机（无目镜，接工业相机成像），同系列还有 SZ7chi（内置同轴 LED 照明版本），半导体、面板行业外观缺陷检测常用，可搭配 YP-250IL 同轴光源使用。
一、完整规格参数

光学核心优势：全程齐焦

在 0.7~5X 任意倍率调节时，不用重新对焦，切换倍率画面始终保持清晰。产线检测工位，高低倍率切换观察缺陷（低倍找缺陷位置，高倍放大看划痕 / 颗粒细节），效率很高。

二、产品核心特点

1. 连续无级变倍 + 齐焦性能0.7 倍低倍率大范围扫视工件表面，5 倍高倍率放大观察微小缺陷；变焦过程保持焦点不变，自动化设备可电动变焦版本接入程序控制。

2. 低畸变，多层 AR 镀膜减少杂散光与图像畸变，搭配 SNR-T50 消光黑膜贴镜筒内腔，进一步抑制迷光，提升缺陷对比度，非常适合镜面抛光样品（晶圆、蓝宝石、玻璃基板）。

3. C 口标准化设计直接接普通工业面阵相机；可自由选配前置物镜（0.5X、2X 等扩展 WD 与倍率）。

4. 分体式照明设计（SZ7 标准版）本体不带光源，可灵活外接山田 YP-250IL 同轴光源，做镜面工件表面缺陷检测；不局限内置光源，光路方案自由度更高。

SZ7chi 版本自带同轴 LED，适合简易手动工位；自动化设备大多选 SZ7 外接大功率 YP-250IL。

三、实际案例用途（和你整套光路配套）

案例 1：硅晶圆 CMP 抛光缺陷检测（最常用）

工位方案：SZ7 变倍镜筒 + 工业相机 + YP-250IL 同轴光源

• 0.7~1X 低倍率：大范围扫描晶圆，快速定位区域性雾面、脏污、滑移线；

• 3~5X 高倍率：放大观察微米级划痕、微小颗粒缺陷；

• 齐焦特性：切换倍率无需重新对焦，产线抽检效率高。镜筒内壁贴 SNR-T50 涉谷消光黑膜抑制杂散光。

案例 2：蓝宝石、碳化硅衬底外观质检

镜面衬底表面微小划伤、麻点检测，同轴照明 + 连续变倍，兼顾大范围搜寻和微观放大复检。

案例 3：LCD/OLED 玻璃基板、光学镜片表面缺陷检查

面板基板划痕、镀膜不均、异物检测；手动抽检台、半自动视觉检测设备。

案例 4：精密零部件、五金抛光件外观检测

精密金属件表面裂纹、毛刺、抛光纹路检查。

案例 5：实验室样品观察、FA 失效分析

半导体失效分析实验室，样品快速高低倍率切换观察。