国内代理FLUORO 福乐硅橡胶吸盘（硅橡胶垫）41

国内代理FLUORO 福乐硅橡胶吸盘（硅橡胶垫）41 

一、产品基础概述

FLUORO 41 硅橡胶吸盘，是半导体洁净室手动真空吸笔专用圆形软质吸盘，专为平整、无图形、低硬度、易划伤晶圆 / 基板设计。采用高纯度洁净硅橡胶一体成型，软质接触面，吸附时柔和贴合工件表面，不会压伤、刮擦产品表面；配套 F001/F002 真空吸笔手柄，快速螺纹拆装，属于消耗型前端吸嘴。

选型区分：前面 66、99 是硬质 PEEK 吸嘴；41 是软硅橡胶吸盘，两者适用场景完全不同。

二、核心技术参数

1. 材质：高纯度洁净硅橡胶（Silicone）

• 质地柔软，弹性好，贴合度高

• 洁净等级 Class1~10 洁净室适用，低颗粒析出

• 耐温、耐部分有机溶剂；不适合长时间浸泡 HF、BOE 等强腐蚀湿法药液

2. 吸附结构：圆形平面软吸盘，单孔真空吸附

3. 连接接口：标准螺纹，匹配 FLUORO F001 / F002 真空吸笔

4. 适用工件：裸硅片、玻璃基板、蓝宝石、陶瓷片、抛光晶圆、无光刻图形衬底

5. 防静电版本可选：导电硅橡胶款，用于 ESD 敏感工件

6. 使用方式：仅限手动真空吸笔，洁净室内干式取样为主

三、产品核心特点

1. 软质硅橡胶，防划伤，保护抛光面

硬质 PEEK 吸嘴（66/99）接触抛光晶圆容易产生微小划痕；41 硅橡胶吸盘是弹性软接触面，吸附时柔性贴合，不会在抛光镜面、裸硅片、蓝宝石基板表面留下划伤，是光面基板取样首选。

2. 弹性自适应，曲面 / 轻微翘曲工件也可吸附

硅橡胶自带弹性，对于轻微翘曲、弯曲的薄基板，吸盘可以自适应贴合表面，真空密封效果更好，不容易漏气、掉片。

3. 高洁净低颗粒

原厂高纯硅橡胶，无增塑剂析出，一体成型无胶水，洁净室反复使用，微粒污染风险低，满足半导体、光学行业洁净管控。

4. 快拆耗材结构

螺纹接口，现场直接更换吸盘，不用更换整套吸笔，运维成本低。

5. 适用限制（重点）

硅橡胶耐化学性弱于 PEEK，不能长期浸泡氢氟酸、缓冲蚀刻液 BOE，优先干式取片场景；湿法强药液环境，建议选用 66、99 导电 PEEK 吸嘴。 长时间高温、强溶剂会加速硅橡胶老化、硬化、掉屑，需要定期更换。

四、典型应用场景

1. 半导体抛光裸硅片、衬底：干式手动取样，保护镜面抛光面，防止划伤

2. 光学行业：蓝宝石、石英玻璃、陶瓷基板取放

3. 实验室材料研发：薄片、轻微翘曲基板取样

4. 晶圆外观检验工位：无图形测试片人工转移

5. 不允许表面产生划痕的精密基板拾取

五、案例分析

案例 1：半导体材料实验室，抛光裸硅片取样防划伤

背景某硅材料研发实验室，使用 F001 吸笔搭配硬质 PEEK 吸嘴拾取 8/12 英寸抛光裸硅片。硬质吸嘴在镜面硅片表面偶尔产生细微划痕，产品直接报废；样品为无图形抛光片，不需要 ESD 防护，但是表面完整性要求极高。

解决方案更换 FLUORO 41 硅橡胶软吸盘，干式环境下取放抛光裸硅片。

• 软硅橡胶弹性接触面，不会划伤镜面抛光表面；

• 圆形吸盘大面积贴合，吸力稳定，薄硅片不易碎裂；

• 干式使用，避开强腐蚀药液，延长吸盘寿命。

实施效果

1. 晶圆表面划伤不良问题完全消除；

2. 轻微翘曲薄硅片吸附不漏气，掉片率下降；

3. 定期更换吸盘作为耗材，满足洁净颗粒管控。

客户总结：抛光裸片、光学基板干式取样优先选用 41 硅橡胶吸盘。

案例 2：光学衬底检测工位（蓝宝石基板手动转移）

背景光学器件产线，蓝宝石衬底人工抽检，衬底表面光学镀膜极易刮伤；硬质吸嘴会损伤镀膜，自动化设备成本高，采用手动真空吸笔取样。

方案F001 真空吸笔 + FLUORO 41 硅橡胶吸盘，干式洁净室取样。

效果大批量蓝宝石基板取样，镀膜完好无划伤，吸附稳定；吸盘老化后直接更换，维护简单。

六、选型对比：41 vs 66 vs 99